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簡要描述:HETDENHAIN海德漢光柵,測量步距為0.1 µm(分辨率達0.005 µm),單場掃描定位精度高和移動速度快,能承受高振動頻率,支持水平安裝;
HETDENHAIN海德漢光柵結構:
光柵尺是有標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵一般固定在機床活動部件上,光柵讀數頭裝在機床固定部件上,指示光柵裝在光柵讀數頭中。
光柵檢測裝置結構光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭,它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多,根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭)。
海德漢光柵尺敞開式直線光柵尺所有海德漢公司的直線光柵尺在發貨前全部進行精度和功能檢驗。精度檢定在兩個運動方向上執行,精心選擇的測量位置數能夠確保準確確定大量程范圍誤差和單信號周期內的無知誤差。海德漢公司每個直線,光柵尺均有制造商檢驗合格證,證明它符合系統精度要求,檢定標準符合國家和"標準要求,能確保滿足ISO9001的可追溯性要求。
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敞開式光柵尺型號:LIP 382、LIP 372、LIP 481、LIP471、LIP 580、LIP 571、LIF 481、LIF471、LIDA483、LIDA473、LIDA485、LIDA475、LIDA487、LIDA477、LIDA287、LIDA277、LDIA289、LIDA279、LIDA583、LIDA573、PP 281R、PP 271R.封閉式直線光柵尺型號:
LC4000、LC100、LIF481、LF183、LS400、LS100、LB382-單段、LB382-多段
HEIDENHAIN光柵尺使用注意事項
(1)海德漢光柵尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源后進行。
(2)盡可能外加保護罩,并及時清理濺落在尺上的切屑和油液,嚴格防止任何異物進入光柵尺傳感器殼體內部。
(3)定期檢查各安裝聯接螺釘是否松動。
(4)為延長防塵密封條的壽命,可在密封條上均勻涂上一薄層硅油,注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
(5) 為保證光柵尺傳感器使用的可靠性,可每隔一定時間用乙醇混合液(各50%)清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面,保持玻璃光柵尺面清潔。
HETDENHAIN海德漢光柵應用領域
機床行業:用于數控機床(CNC)的直線軸和旋轉軸的位置測量。
半導體設備:在光刻機、晶圓檢測設備等高精度設備中發揮重要作用。
機器人:用于機器人關節和末端執行器的位置反饋。
精密測量儀器:如三坐標測量機(CMM)、激光干涉儀等。
自動化設備:適用于高精度定位和運動控制場景。